氣體質(zhì)量流量控制器
標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
選配：現(xiàn)場總線接口
8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備桌越的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口，既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號，也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺。
8711型

流量范圍介質(zhì)1 15

單位介質(zhì)1 nl/min

參考介質(zhì)1丙烷

電源電壓24V直流電池電壓

實(shí)際值標(biāo)準(zhǔn)信號4-20mA

端口連接G1/4螺紋端口

鋁材料

密封材料FKM

線圈尺寸20 x 20

孔口尺寸1.6mm

型號2 2871

傳感器塊流量分配器C4

無傳感器功能

車身清潔度等級未定義

線圈功率5瓦

車身特征塑料外殼電子元件

校準(zhǔn)壓力med.1 1000

輸出壓力。醫(yī)學(xué)。0200問題1

壓力巴單位

安裝位置任意

校準(zhǔn)介質(zhì)1氣體工作氣體

量程1:50

二進(jìn)制輸入1默認(rèn)值

二進(jìn)制輸入2默認(rèn)值

二進(jìn)制輸出1默認(rèn)值

輸入標(biāo)稱值默認(rèn)為實(shí)際值輸出

功耗13瓦

典型功耗9.5瓦
技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)稱流量范圍1）

（Q標(biāo)稱）

1000萬升/分鐘2）至80升

N/min（氮?dú)猓?/p>

見第2頁的表格

調(diào)低比為1:50，可根據(jù)要求提高調(diào)低比

工作氣體中性，無污染氣體，

應(yīng)要求

校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣

 大工作壓力

（入口壓力）

10巴（145磅/平方英寸）

取決于閥門的孔

氣體溫度-10…+70°C（-10…+60°C，含氧）

環(huán)境溫度-10…+50°C

準(zhǔn)確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。

（預(yù)熱1分鐘后）

重復(fù)性±0.1%F.S。

穩(wěn)定時間（t95%）<300毫秒

材料

身體

住房

海豹

鋁或不銹鋼

PC（聚碳酸酯）或金屬

FKM、EPDM

端口連接NPT?，G?，螺紋接頭或法蘭，

其他應(yīng)要求

調(diào)節(jié)裝置

（比例閥）

閥孔板

k

VS值

常閉式

0.05…4.0毫米

0.00006…0.32立方米/小時

電氣。連接

另外，現(xiàn)場總線：

插頭D-Sub 15針

帶PROFIBUS-DP：插座M12 5針

帶CANopen：插座M12 5針

24 V直流電源

電壓公差±10%

殘余波紋<2%

 大功耗3.5…14 W

（取決于使用的比例閥）

輸入信號

輸入阻抗

0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安

>20 kΩ（電壓），

<300Ω（電流）

輸出信號

 大電流（電壓）

 大負(fù)載（電流）

0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安

10毫安

600Ω

數(shù)字通信

可能通過適配器：

RS232，Modbus RTU（通過RS適配器）

RS485、RS422或USB

（見第3頁附件表）

現(xiàn)場總線選項(xiàng)PROFIBUS-DP，CANopen

防護(hù)等級IP40

尺寸[mm]見圖紙5-7

總重量約500 g（鋁體）

水平或垂直安裝

發(fā)光二極管

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

電源指示，

限制（模擬信號）/通信

（帶現(xiàn)場總線）和錯誤

二進(jìn)制輸入

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

二

1啟動自動調(diào)諧

2未的

二進(jìn)制輸出

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

繼電器輸出：

1限制（未達(dá)到設(shè)定值）

 大負(fù)載：25V，1A，25VA

1） 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個

標(biāo)稱流量范圍定義了可能的標(biāo)稱流量范圍（滿標(biāo)度值）。

2） 指數(shù)N：指1.013 bar和0°C的流量。

另外，還有一個指數(shù)S，指的是1.013巴和20°C

實(shí)際流量由傳感器檢測。這是根據(jù)

一種具有提供質(zhì)量流優(yōu)勢的熱學(xué)原理

與壓力和溫度無關(guān)。

總氣體流的一小部分被轉(zhuǎn)移到

設(shè)計(jì)的旁路通道能保證層流條件。

傳感器元件是一個芯片，浸沒在該流道壁中。

該芯片采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)，包含一個加熱電阻和

對稱布置的兩個溫度傳感器（熱電堆）

加熱器的上游和下游。的差動電壓

熱電堆是通過流量傳感器的質(zhì)量流量的測量。

校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)了傳感器的維一分配

通過裝置的總流量信號。